| 专利名称 | 一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法 | 申请号 | CN201410166870.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103901520A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 邱克强;王琦;刘正坤;徐向东;洪义麟;付绍军 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法 至一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法，由硅光栅结构(1)、光刻胶(3)与金属膜(4)组成；所制作的光栅槽型是顶角等于90°的三角形，可以获得比顶角不是90°的阶梯光栅更高的衍射效率；光栅结构在斜切的单晶硅片中产生，光栅闪耀角度由切割硅片时切偏角决定，可以实现任意闪耀角光栅制作；90°顶角通过在非直角顶角硅光栅槽中填充光刻胶，并再次进行光刻产生，可将以往非90°顶角的硅光栅转变成90°顶角的三角形槽光栅，所制作的光栅结构，光栅闪耀面是光滑的单晶硅<111>晶格面，能有效降低散射，提高光栅衍射效率。根据使用波段在光栅表面可选择镀制不同种类反射膜层，实现光栅在宽波段均具有高衍射效率。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障