| 专利名称 | 具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法 | 申请号 | CN201410158350.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103904175A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 甄爱功;马平;张勇辉;田迎冬;郭恩卿;王军喜;李晋闽 | 主分类号 | H01L33/00(2010.01)I | IPC主分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 专利有效期 | 具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法 至具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法，包含：在衬底上依次外延形核层、非掺杂氮化镓层、n型氮化镓层、有源层、电子阻挡层和p型氮化镓层；在p型氮化镓层的表面旋涂第一光刻胶；在第一光刻胶上制作第一单层纳米球薄膜；光刻，在第一光刻胶上形成图形；以第一光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在p型氮化镓层上形成多孔状或柱状的光子晶体；在多孔状的光子晶体表面旋涂第二光刻胶；在第二光刻胶上制作第二单层纳米球薄膜；光刻，在第二光刻胶上形成图形；以第二光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在多孔状的光子晶体上形成具有波导结构的光子晶体；制作电极，完成正装结构的制作。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障