| 专利名称 | 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法 | 申请号 | CN201410157861.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103900493A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 唐燕;何渝;赵立新;朱江平;胡松 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法 至基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明一种基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法，利用由数字微镜阵列、成像单元、半透半反镜、白光光源、干涉显微物镜、待测物体、工件台、控制单元、光谱仪、光纤、光纤耦合单元组成的装置，将扩束准直白光通过半透半反镜将白光分别投射到待测物体表面和干涉显微镜内部的参考镜表面并反射光发生干涉，再经过半透半反镜，获得干涉光强并经成像单元成像到数字微镜阵列表面；逐一控制数字微镜阵列的像素对应微镜偏转角度，使不同像素对应干涉光强逐一进入光纤耦合单元，光谱仪获得干涉光强对应的光谱信息传入控制单元并对干涉光强对应的光谱分布进行相位解析，求得待测物体表面相对高度。本发明结构简化，测量精度高、抗干扰能力强。 |
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