| 专利名称 | 一种气浮导轨 | 申请号 | CN201410153183.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103899647A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李金龙;胡松;赵立新 | 主分类号 | F16C32/06(2006.01)I | IPC主分类号 | F16C32/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种气浮导轨 至一种气浮导轨 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种气浮导轨，结构为：基座为方形平板；导向条石为方形条石，导向条石具有下表面和导向面，导向条石下表面与基底工作面通过螺钉连接；导向板为方形板，导向板具有进气口等，环形槽通过节流孔、进气口与外界相连，真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连，导向板工作面与导向条石导向面平行，密封口进行密封；柔性铰链为工字型结构，柔性铰链具有上安装面和下安装面，柔性铰链上安装面与导向板安装面通过螺钉连接；承载板为方形板，承载板具有承载面、安装面等，环形槽通过节流孔、进气口与外界相连，真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连，承载板承载面与基座工作面平行，承载板安装面与柔性铰链下安装面通过螺钉连接，密封口进行密封。 |
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