陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法

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专利名称 陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法 申请号 CN201210576514.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103898446A 公开(授权)日 2014.07.02 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;周小军;李艳玲;张晓娟 主分类号 C23C14/14(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法 至陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层,以重量百分比计,组成元素为:39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni,属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶安装在中频阴极上,Ni靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层,利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,硬度达到15GPa以上,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。

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