| 专利名称 | 一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法 | 申请号 | CN201210587490.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103896287A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 | 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 梁晨亮;王良咏;刘卫丽;宋志棠 | 主分类号 | C01B33/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B33/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法 至一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及CMP技术抛光领域，特别是涉及一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法。本发明提供一种非球形二氧化硅溶胶，包括液体介质和溶胶颗粒，所述溶胶颗粒由2~10个二氧化硅胶体粒子聚集而成。本产品的有益效果是：通过二价金属离子的诱导作用，形成非球形的二氧化硅晶种。在该晶种表面包覆一层聚苯乙烯薄层（由苯乙烯聚合而成）。由于晶种是非球形的，表面的曲率各处不同，有正有负。在具有负曲率（即凹陷处）的地方表面张力大，聚苯乙烯不易包覆，故留下了空洞，露出二氧化硅。持续添加的硅酸会优先附着在这些露出二氧化硅的表面，并进行脱水聚合，最终形成2-10个小颗粒聚集成的大颗粒状二氧化硅胶体粒子。 |
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