一种计算机硬盘的化学机械抛光液

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专利名称 一种计算机硬盘的化学机械抛光液 申请号 CN201210587505.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103897604A 公开(授权)日 2014.07.02 申请(专利权)人 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 宋晗;王良咏;刘卫丽;宋志棠 主分类号 C09G1/02(2006.01)I IPC主分类号 C09G1/02(2006.01)I 专利有效期 一种计算机硬盘的化学机械抛光液 至一种计算机硬盘的化学机械抛光液 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及计算机领域,具体涉及一种可有效应用于计算机NiP硬盘的计算机硬盘化学机械抛光液。计算机硬盘化学机械抛光液,为含有氧化剂、研磨粒子、盐类添加剂以及pH调节剂的水溶液;所述盐类添加剂通式为X-R-Y,其中X为阳离子,Y为阴离子,R为直链烃基或其衍生物。通过本发明提供的化学机械抛光浆液,硬盘的抛光速率达到了90nm/min,表面粗糙度较低,硬盘的表面质量和加工效率得到了有效的提高。

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