激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪

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专利名称 激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪 申请号 CN201420025341.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203672832U 公开(授权)日 2014.06.25 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 朱跃进;朱瑛才 主分类号 G01N27/64(2006.01)I IPC主分类号 G01N27/64(2006.01)I 专利有效期 激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪 至激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域,具体为一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪,解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中,惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值,离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪包括:激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪等,机械手可实现微尺寸二维精确控制,扫描区域从3-30mm,覆盖目前气体分析样品和直读光谱样品范围。质谱分析技术可同时测定微量氧、氮、氢、氩和氦,适用于激光点式熔融样品气体分析。本实用新型方便简捷,可用于金属中气体常规分析。

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