| 专利名称 | 光束相位在线测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201410081914.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103884436A | 公开（授权）日 | 2014.06.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 潘兴臣;王海燕;程君;刘诚;朱健强 | 主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 光束相位在线测量装置和测量方法 至光束相位在线测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光束相位在线测量装置和测量方法，装置包括：沿待测光束的传播方向依次为缩束器、相位板阵列和光斑探测器，所述的相位板阵列由N块相位分布已知的相位板依次排列组成，其中N为大于1的正整数，所述的相位板阵列和光斑探测器通过固定支杆固定，所述的光斑探测器的输出端与计算机的输入端相连。本发明只需要一个光斑探测器，一块或者多块已知分布的随机相位板及相应的固定装置，成本远远低于常见干涉仪，只需要记录一幅衍射光斑，对环境稳定性要求低，分辨率大为提高，显著提高CDI算法的收敛速度，增强鲁棒性，可用于光学元件的高精度检测和波前相位测量，脉冲激光的波前检测，特别是高功率激光驱动器中波前在线测量。 |
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