| 专利名称 | 制备氧化锆基NOx传感器的方法 | 申请号 | CN201210564623.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103884758A | 公开（授权）日 | 2014.06.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 冯涛;夏金峰;蒋丹宇;黄德信;徐兵;李雨林;粘洪强;徐海芳 | 主分类号 | G01N27/407(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/407(2006.01)I;G01N27/409(2006.01)I | 专利有效期 | 制备氧化锆基NOx传感器的方法 至制备氧化锆基NOx传感器的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种氧化锆基NOx传感器的制备方法，包括：提供NOx传感单元、氧传感单元和加热体；所述NOx传感单元由NOx敏感层、参比气体通道层、氧化锆层组成，所述NOx敏感层包括NOx测试电极层、氧化锆层和参比电极；所述氧传感单元由氧敏感层、参比气体通道层和氧化锆层组成，所述氧敏感层包括氧测试电极层、氧化锆层和参比电极；所述加热体层包括绝缘层、加热电极、氧化锆层、引脚孔和引脚；将所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体层叠共烧，制得氧化锆基NOx传感器；其中，所述加热体位于NOx传感单元和氧传感单元之间；所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体之间加入低温玻璃粉，在800～1200℃下进行低温共烧。 |
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