| 专利名称 | 一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法 | 申请号 | CN201410017751.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103882395A | 公开（授权）日 | 2014.06.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 张栋;汪爱英;柯培玲;孙丽丽 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 专利有效期 | 一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法 至一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法。该方法为：首先，采用PVD技术在工件表面沉积底层膜；然后，采用磁控溅射方法，以石墨为靶材，在底层膜表面溅射沉积类石墨层作为黑色膜；最后，进行拉丝处理，得到双色膜。与现有的金属碳化物等作为黑色膜相比，本发明将类石墨层作为黑色膜，其一方面与底层膜具有良好的结合力，另一方面与金属碳化物薄膜相比硬度较低且韧性好，从而易于与底层膜实现分层，通过拉丝处理得到双色膜，避免了黑色膜无法拉掉或者两层膜同时被拉掉的现象。 |
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