| 专利名称 | 一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置 | 申请号 | CN201410135683.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103885302A | 公开（授权）日 | 2014.06.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 杨汉生;侯溪;雷柏平;张娟;万勇建;吴永前;吴高峰;宋伟红 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置 至一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置，该装置包括基座（1）、主支撑（2）、辅助支撑（3）和控制系统（4）。主支撑（2）和辅助支撑（3）环绕排列，固定在基座（1）上。主支撑（2）为三个刚性支点；若干辅助支撑（3）均匀分布在主支撑（2）之间,可以上下运动。所述辅助支撑（3）具体包括辅助支撑支架、顶升器、柔性件、力传感器。本发明采用控制系统控制顶升器动作，推动柔性件产生变形，带动辅助支撑点运动；由力传感器反馈获取支撑力，并能够通过对各辅助支撑力的闭环控制来实现对光学元件的低形变、稳定支撑。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障