| 专利名称 | 双滑块高精度惯性压电马达及控制法与扫描探针显微镜 | 申请号 | CN201210545347.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103872943A | 公开（授权）日 | 2014.06.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 周海彪;陆轻铀 | 主分类号 | H02N2/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;G01Q10/00(2010.01)I;G01Q60/00(2010.01)I | 专利有效期 | 双滑块高精度惯性压电马达及控制法与扫描探针显微镜 至双滑块高精度惯性压电马达及控制法与扫描探针显微镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明双滑块高精度惯性压电马达，包括压电体、主导轨、主滑块，其特征是还包括副导轨、副滑块，目标架，主导轨与副导轨分别固定于压电体形变的两端，主滑块与副滑块分别设置于主导轨与副导轨上，目标架固定于副导轨上，主导轨与副导轨的导向方向均与压电体的形变方向一致，主滑块与主导轨间的最大静摩擦力大于副滑块与副导轨之间的最大静摩擦力，各部件的配合为：压电体向着目标架的缓慢形变推动主导轨连同其上的主滑块一同无滑动地向目标架移动，并由主滑块推着副滑块在副导轨上向目标架移动。工作时主滑块先缓慢推副滑块前移精确的一步，主滑块再向前甩出惯性的一步，提高了定位精度，主滑块也可与副滑块分离，提高了副滑块的稳定性。 |
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