一种TI-IGBT器件

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专利名称 一种TI-IGBT器件 申请号 CN201310697677.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103872053A 公开(授权)日 2014.06.18 申请(专利权)人 上海联星电子有限公司;中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司 发明(设计)人 张文亮;朱阳军;田晓丽;喻巧群 主分类号 H01L27/06(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/06(2006.01)I 专利有效期 一种TI-IGBT器件 至一种TI-IGBT器件 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种TI-IGBT器件,包括器件衬底,所述衬底的正面为MOS元胞,所述衬底的反面为集电极金属,所述器件衬底为所述器件的N-漂移区,在所述N-漂移区下方设有N+缓冲层,所述N+缓冲层下方为集电区,所述集电区与所述集电极金属连接并形成欧姆接触。所述N+缓冲层与所述集电区之间还设有缓冲层。这种新型结构可以减小TI-IGBT集电极尺寸,大大改善了TI-IGBT内部电流的均匀性,有效抑制了回跳,提高了芯片的可靠性。

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