| 专利名称 | 一种极紫外脉冲发生调制器 | 申请号 | CN201410109608.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103871832A | 公开（授权）日 | 2014.06.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明（设计）人 | 李保权 | 主分类号 | H01J61/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J61/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种极紫外脉冲发生调制器 至一种极紫外脉冲发生调制器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种极紫外脉冲发生调制器，包括：电子源、调控栅极、聚焦电极和阳极靶；其中，电子源产生电子，调控栅极对电子源所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲；聚焦电极所形成的电场将电子脉冲聚焦；所述阳极靶加速电子脉冲，所述电子脉冲最终轰击阳极靶，生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm-200nm。 |
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