| 专利名称 | 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 | 申请号 | CN201210530408.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103866264A | 公开（授权）日 | 2014.06.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 张阳;卢维尔;董亚斌;解婧;李超波;夏洋 | 主分类号 | C23C16/40(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/40(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 专利有效期 | 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 至一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法，属于氧化锌薄膜制备技术领域。所述方法包括：原子层沉积设备通入含锌源气体和含氧源气体，在原子层沉积设备反应腔中的硅衬底表面生长氧化锌薄膜；原子层沉积设备通入含磷源气体和含氧源气体，在氧化锌薄膜表面生长磷氧键。本发明可以简单地实现磷原子掺杂在氧化锌薄膜中，制备出的薄膜掺杂层可控，薄膜的均匀性较高，性能完整。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障