| 专利名称 | 用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池 | 申请号 | CN201410090715.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103868853A | 公开（授权）日 | 2014.06.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 张国强;林涛;邱宗甲 | 主分类号 | G01N21/01(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/3504(2014.01)I | 专利有效期 | 用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池 至用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池；主要包括共振腔、前端缓冲腔、后端缓冲腔、入射窗片、出射窗片、进气口、出气口、高灵敏度传声器、高压电极，以及接地电极。入射窗片和出射窗片分别在前端和后端缓冲腔上；两个缓冲腔分别在共振腔的两侧，依共振腔几何中心对称。两个缓冲腔的侧面分别有进气口和出气口。共振腔的轴向中心一端固定有高灵敏度传声器；共振腔几何中心的径向端有高压电极和接地电极，可以产生放电使SF6气体发生分解。本发明可实时定量检测HF、SF5、SF4、SF2、SOF4、SO2F2、SOF2、SO2、CF4、CO2、H2O等多种气体，而且特别适于化学性质不稳定的SF6分解物实时定量测量分析。 |
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