| 专利名称 | 极紫外光刻反射式光学元件温控装置 | 申请号 | CN201320807402.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203643742U | 公开（授权）日 | 2014.06.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;张罗莎;罗艳;谢婉露 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G05D23/20(2006.01)I | 专利有效期 | 极紫外光刻反射式光学元件温控装置 至极紫外光刻反射式光学元件温控装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其包括测温单元、控制单元和冷却单元，冷却单元用于根据控制单元发出的控制命令可控地对极紫外光刻反射式光学元件进行冷却，冷却单元包括扩热板(22)、环路热管(23)、半导体制冷器(24)和液冷系统(27)，所述环路热管(23)包括用于传递所述光学元件(11)产生的热量的柔性管路(23b)，该柔性管路还用于隔绝由液冷系统(27)产生的振动传递至所述光学元件(11)。本实用新型的温控装置能够在真空环境下对极紫外光学元件进行有效、高精度温控，并且不会引入振动源和污染性气体。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障