一种含氟石墨烯修饰层有机场效应晶体管的制备方法

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专利名称 一种含氟石墨烯修饰层有机场效应晶体管的制备方法 申请号 CN201410103363.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103855305A 公开(授权)日 2014.06.11 申请(专利权)人 北京科技大学;中国科学院化学研究所 发明(设计)人 王丽萍;谢晓冬;于贵;张卫锋;朱明山;郭云龙;陈鹏磊;刘鸣华 主分类号 H01L51/40(2006.01)I IPC主分类号 H01L51/40(2006.01)I 专利有效期 一种含氟石墨烯修饰层有机场效应晶体管的制备方法 至一种含氟石墨烯修饰层有机场效应晶体管的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种含氟石墨烯修饰层有机场效应晶体管的制备方法,属于半导体材料器件领域。其特征是利用含氟石墨烯作为修饰层,采用有机半导体材料作为半导体层,制备底栅底电极结构(BGTC)的有机场效应晶体管的制备方法。该制备方法中含氟石墨烯可以提高器件的性能。所制备的含氟石墨烯修饰层的三异丙基硅乙炔取代的并四苯并噻吩(TIPSEthiotet)和并五苯器件具有高的光响应性和光敏感性。

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