| 专利名称 | 一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法 | 申请号 | CN201410075679.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103837709A | 公开（授权）日 | 2014.06.04 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 陈东学;苗俊杰;刘前 | 主分类号 | G01Q60/22(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/22(2010.01)I;G02B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法 至一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种表面等离子体激元增强针尖，所述增强针尖包括：（1）透明衬底：用于光线入射；（2）金属薄膜：设置于透明衬底的一侧，在所述金属薄膜上开有螺旋结构的狭缝；（3）金属针尖：包括金属针尖的尖部和根部，根部连接金属薄膜，且位于螺旋结构的中心。本发明提供的增强针尖的针尖增强效果好，能够实现3个数量级的针尖增强；可实现0.03λ0的分辨率，增强深度达到50nm；大大提高了信噪比和灵敏度；操作方便简单，易于形成大面积针尖阵列，提高扫描速度。 |
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