一种基于宽带表面等离子体波的微区光谱测量装置

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专利名称 一种基于宽带表面等离子体波的微区光谱测量装置 申请号 CN201410086293.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103837499A 公开(授权)日 2014.06.04 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 韩璐;张斗国;陈漪恺;朱良富;王茹雪;王沛;明海 主分类号 G01N21/49(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/49(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I 专利有效期 一种基于宽带表面等离子体波的微区光谱测量装置 至一种基于宽带表面等离子体波的微区光谱测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种基于宽带表面等离子体波的微区光谱测量装置,主要是利用高数值孔径显微物镜与宽带径向偏振光或称径向偏振白光搭建光谱测量装置。入射宽带环形径向偏振光束被高数值孔径油浸显微物镜聚焦到金属薄膜上,激发金属薄膜上表面的宽带表面等离子体波,表面等离子体波沿界面向物镜聚焦中心传播,形成一个超衍射极限的聚焦白光光斑,即近场光斑,局域在金属薄膜上表面。此光斑遇到被测样品后被散射到远场并被光谱仪采集,从而获得样品的光谱信息。表面等离子体波具有很小的穿透深度,径向偏振光可实现超衍射极限聚焦光斑,其中心光强远大于入射光光强,基于此装置可获得高空间分辨率,高灵敏度和信噪比的被测样品光谱信息。

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