| 专利名称 | 基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器 | 申请号 | CN201320712132.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203630077U | 公开（授权）日 | 2014.06.04 | 申请（专利权）人 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈秋兰;唐观荣;邸思;金建;陈贤帅 | 主分类号 | G01N27/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/06(2006.01)I | 专利有效期 | 基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器 至基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器，包含石英基片衬底、Si3N4粘附层和铂金属电极，所述Si3N4粘附层位于石英基片底衬的上表面，所述铂金属电极位于Si3N4粘附层之上；所述铂金属电极包含接触区、电导率感应电极和温度感应电极；所述基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的正面和背面还各包含一层Si3N4保护层，正面Si3N4保护层刻蚀出窗口，露出电导率感应电极和温度感应电极。本实用新型基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器器件尺寸小，具有较高的测量范围和稳定性，可直接与海水长久接触而不产生漂移。 |
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