一种光学元件偏心测量装置

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专利名称 一种光学元件偏心测量装置 申请号 CN201410097979.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103837123A 公开(授权)日 2014.06.04 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 雷柏平;伍凡;万勇建;侯溪 主分类号 G01B21/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B21/24(2006.01)I 专利有效期 一种光学元件偏心测量装置 至一种光学元件偏心测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明是一种光学元件偏心测量装置,包括升降支架、位移传感器、力传感器、待测光学元件、支撑单元、升降旋转台、基座及数据处理和控制单元;升降支架与升降旋转台的底面固定在基座上;待测光学元件放置于支撑单元中,并由力传感器显示每次测量时支撑力是否一致,由位移传感器获得某个方向上的失高值,然后由升降旋转台将待测光学元件升到一高度并旋转一定角度后再降落回位,在力传感器显示同一数值后获得该角度上的失高值,数据处理和控制单元对旋转角度和力传感器进行控制,在获得多个方向上的一系列失高值后,由数据处理和控制单元计算出待测光学元件的偏心。

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