| 专利名称 | 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜 | 申请号 | CN201410076488.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103837966A | 公开（授权）日 | 2014.06.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘俊伯;赵立新;陈铭勇;朱咸昌;胡松;何渝;陈昌龙 | 主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜 至一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内光学加工所造成的分辨率下降问题，能显著提高国产大面积平板光刻机的成像质量和生产效率。 |
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