| 专利名称 | 一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法 | 申请号 | CN201410103275.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103831675A | 公开（授权）日 | 2014.06.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李云;王安定;付韬韬;邢廷文 | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法 至一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法，所述装置包括一主真空舱、副真空舱、被加工件夹持机构、试验样品夹持机构、试验样品传输机构、离子源、数控三坐标位移台和气动真空门，主真空舱为大口径光学元件及样品材料提供真空加工环境；试验样品夹持机构用于夹持工件样品；试验样品传输机构用于在主真空舱与副真空舱之间来回移动样品；离子源用于光学零件表面面形材料的去除；数控三坐标位移台用于驱动离子源运动；气动真空门用于连通与隔离主真空舱和副真空舱。所述加工方法能对大型光学元件进行分块加工，即便加工过程中离子源性能劣化，该加工方法依然能获得整个表面形貌一致优良的光学元件。 |
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