| 专利名称 | 一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构 | 申请号 | CN201410048364.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103822891A | 公开（授权）日 | 2014.05.28 | 申请（专利权）人 | 无锡中科智能农业发展有限责任公司;中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 陶春辉;李淼;张健;高会议;董俊;李华龙;郑守国 | 主分类号 | G01N21/3504(2014.01)I | IPC主分类号 | G01N21/3504(2014.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 专利有效期 | 一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构 至一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。 |
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