| 专利名称 | 亚波长Y分支波导及制备方法 | 申请号 | CN201210446936.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103809238A | 公开（授权）日 | 2014.05.21 | 申请（专利权）人 | 江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 武爱民;甘甫烷;李浩;盛振;王曦 | 主分类号 | G02B6/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/125(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I | 专利有效期 | 亚波长Y分支波导及制备方法 至亚波长Y分支波导及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种亚波长Y分支波导及制备方法。首先，在含氧基底表面沉积硬掩膜；随后，在所述硬掩膜表面制作出Y型周期性光刻胶图形层；接着，以该Y型周期性光刻胶图形层为掩膜制备Y型周期性硬掩膜图形层；最后，以Y型周期性硬掩膜图形层为掩膜对所述含氧基底的顶层进行刻蚀来形成能传输亚波长波的Y型周期性柱体结构，本发明的亚波长Y分支波导结构紧凑，制备方法能与集成电路工艺兼容。 |
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