| 专利名称 | 行星式旋转托盘装置 | 申请号 | CN201410054225.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103806095A | 公开（授权）日 | 2014.05.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 刘立莉;杨华;路红喜;郭金霞;李璟 | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B25/12(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 专利有效期 | 行星式旋转托盘装置 至行星式旋转托盘装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种行星式旋转托盘装置。该行星式旋转托盘装置包括：固定板，其中心位置设置通孔，其外侧具有环形凹入轨道，驱动轴由通孔伸入；中心齿轮，固定于固定板的正面，由驱动轴驱动绕固定板中心位置的通孔转动；卫星盘架组，包括位于同一径向位置的若干个卫星盘架，每一个卫星盘架的转轴的底部均卡入固定板外侧的环形凹入轨道中，并可沿该环形凹入轨道前后移动；其中，每一卫星盘架的上部均具有上齿轮，相邻卫星盘架的上齿轮相互啮合，至少一卫星盘架的下部具有与其上齿轮共用一转轴的下齿轮，该下齿轮与中心齿轮处于同一平面，两者相互啮合。本发明行星式旋转托盘装置可实现每一卫星盘架的自转与公转。 |
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