| 专利名称 | 自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法 | 申请号 | CN201310559783.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103791927A | 公开（授权）日 | 2014.05.14 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 周瑜升;朱光;王中林 | 主分类号 | G01D5/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D5/14(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I;G01P3/52(2006.01)I | 专利有效期 | 自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法 至自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明提供一种自驱动位移与速度传感方法、传感器以及传感器的制备方法。传感器包括两个相对滑动的部件，各部件均包括基底、栅格结构、导电层以及摩擦层。工作时，被测物体与其中一个部件固定，两个部件在摩擦层接触，表面由于接触起电效应发生电荷转移，被测物体的位移带动两摩擦层发生相对位移致使周围电场发生变化，两个导电层之间产生电势差并且周期性变化。通过测量导电层之间电压变化的周期数和实时电压值，被测物体的位移可以被精确测量。另外，通过测量两个导电层之间的短路电流，器件还可以探测被测物体的速度。本发明不需要电源驱动，因此实现了无功耗、大范围、高可靠性的高精度位移与速度传感。 |
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