| 专利名称 | 干涉显微物镜光学系统 | 申请号 | CN201310468484.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103792648A | 公开（授权）日 | 2014.05.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐静浩;步扬;王向朝 | 主分类号 | G02B15/177(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B15/177(2006.01)I;G02B21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 干涉显微物镜光学系统 至干涉显微物镜光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种干涉显微物镜光学系统，包括第一透镜组，第二透镜组，第三透镜组，第四透镜组，孔径光阑，第五透镜组，第六透镜组，参考面基板组，分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1；所述的第二透镜组的焦距为fS2，第三透镜组的焦距为fS3，物镜组的焦距为fE1，三者满足下列关系式：1.2<|fS3/fS2|<1.8，3<|fS1/fE1|<4，本发明干涉显微物镜在可见光波段范围内具有工作距离长，数值孔径大，畸变比较小的特点，系统成像质量接近衍射极限。 |
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