激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法

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专利名称 激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法 申请号 CN201410018535.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103792277A 公开(授权)日 2014.05.14 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 朱跃进;朱瑛才 主分类号 G01N27/64(2006.01)I IPC主分类号 G01N27/64(2006.01)I 专利有效期 激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法 至激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域,具体为一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法,解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中,惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值,离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪主体由以下部分构成:激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪、计算机。联测仪控制软件可精准控制激光器、样品台、加样口、机械手、真空泵、三通阀等动作,控制质谱分析仪按设定发射电流等参数运行。联测仪数据处理软件处理所有信息,及时提供反馈,处理质谱检测信息,精确计算并输出结果。

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