| 专利名称 | 可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法 | 申请号 | CN201410027833.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103779785A | 公开（授权）日 | 2014.05.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 余力强;梁松;赵玲娟;张灿;吉晨 | 主分类号 | H01S5/22(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/22(2006.01)I;H01S5/125(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I | 专利有效期 | 可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法 至可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯，管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层，在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导，在该脊波导之外的区域不具有光栅盖层、包层和电接触层；管芯按照在第一方向上的位置分为依次紧邻的光栅区、相区和增益区；在光栅区的脊波导之外的区域，还不具有下波导层、有源区层和上波导层；在光栅区的上波导层的表层具有布拉格光栅。本发明能将波长调谐范围可增大至12nm，既降低了制作工艺的复杂性，同时还能保证产品的成品率和出光功率。 |
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