| 专利名称 | 用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法 | 申请号 | CN201410029948.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103777472A | 公开（授权）日 | 2014.05.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱菁;王健;黄惠杰;张方;杨宝喜;陈明;李璟;魏张帆 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法 至用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个设计单元的周期d；等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵Aout；计算设计所需的入射光振幅分布矩阵Ain；采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元的位相分布矩阵 |
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