| 专利名称 | 一种控制半导体LED外延片内应力的装置 | 申请号 | CN201410028207.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103779453A | 公开（授权）日 | 2014.05.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 张宁;魏学成;刘桂鹏;刘喆;王军喜;李晋闽 | 主分类号 | H01L33/00(2010.01)I | IPC主分类号 | H01L33/00(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 一种控制半导体LED外延片内应力的装置 至一种控制半导体LED外延片内应力的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种控制半导体LED外延片内应力的装置，该装置包括：圆形或多边形结构的承载台(7)；安装于承载台(7)表面中心位置的升降台(5)；安装于升降台(5)上的应力机械手(6)；安装于承载台(7)表面升降台(5)两侧的第一样品支架垂直支柱(3)和第二样品支架垂直支柱(4)；安装于第一样品支架垂直支柱(3)顶端的第一样品支架水平夹(1)；以及安装于第二样品支架垂直支柱(4)顶端的第二样品支架水平夹(2)。利用本发明，可以改变LED外延片内的应力状态，提高LED发光效率；本设备也可以用来辅助测试LED内极化电场的强度。 |
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