| 专利名称 | 密封传动装置 | 申请号 | CN201410018204.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103775649A | 公开（授权）日 | 2014.05.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王晓亮;崔磊;肖红领;殷海波;冯春;姜丽娟;陈竑 | 主分类号 | F16J15/16(2006.01)I | IPC主分类号 | F16J15/16(2006.01)I | 专利有效期 | 密封传动装置 至密封传动装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种密封传动装置。该密封传动装置具有传动轴高度可调节功能，可以更好的控制薄膜沉积腔室内托盘与加热电阻丝的距离，从而选取最适合晶体外延生长的温区。 |
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