一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法

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专利名称 一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法 申请号 CN201410022493.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103760627A 公开(授权)日 2014.04.30 申请(专利权)人 广州中国科学院先进技术研究所 发明(设计)人 邸思;金建;刘鹏;陈贤帅;杜如虚 主分类号 G02B3/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 专利有效期 一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法 至一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法,用不同颜色的光阻剂,结合传统的光刻法在基板上制作好具有滤光功能的滤光层,然后直接在该滤光层处以热熔法制作凸型微透镜阵列,使得该凸型微透镜集成滤光功能,而不需要另外的滤光片结构,实现了紧凑型多通道滤光微透镜的研制。本发明具有多个光通道,每个通道能独立获取对应波段的图像信息。由于采用光刻技术,配合第一掩膜板,也避免了滤光片与微透镜阵列对准的问题。在基板上各凸型微透镜之间增加了一层光阻挡层,可以减少入射杂散光和透镜之间的影响。本凸型微透镜阵列可以应用于多谱成像系统中,实现单色成像和彩色重构;同时本凸型微透镜阵列结构紧凑,也有利于多谱成像系统的小型化。

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