| 专利名称 | 无机材料真空蒸镀设备 | 申请号 | CN201410043581.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103757599A | 公开（授权）日 | 2014.04.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 发明（设计）人 | 张洪杰;周亮;李成宇;邓瑞平 | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/54(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 专利有效期 | 无机材料真空蒸镀设备 至无机材料真空蒸镀设备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种无机材料真空蒸镀设备，包括真空蒸镀室和自动控制系统。在本发明提供的真空蒸镀设备中，各模块通过收集真空蒸镀室内各项参数信号，并将各项参数信号发送给控制总机，所述控制总机根据预设的各项参数对收到的各项参数信号进行处理得到反馈信号，并将该反馈信号反馈给相应的控制模块，相应的控制模块再根据相应的反馈信号对相应的部件进行自动调控，实现无机材料真空镀膜的自动控制，不仅节省了大量人力，更重要的是能够实现对无机材料真空蒸镀过程的有效监测，实现了无机材料真空蒸镀精度、品质和速度的提高。 |
1、源头对接，价格透明
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