| 专利名称 | 光刻物镜奇像差原位检测方法 | 申请号 | CN201410036241.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103744270A | 公开（授权）日 | 2014.04.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 沈丽娜;王向朝;李思坤;闫观勇 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻物镜奇像差原位检测方法 至光刻物镜奇像差原位检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法，本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值，确定最佳测量位置，获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系，提高像差的检测精度。 |
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