一种大口径光学元件表面损伤分布图的生成方法

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专利名称 一种大口径光学元件表面损伤分布图的生成方法 申请号 CN201410016315.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103743750A 公开(授权)日 2014.04.23 申请(专利权)人 中国科学院自动化研究所 发明(设计)人 陶显;张正涛;张峰;史亚莉;尹英杰;白明然 主分类号 G01N21/88(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/88(2006.01)I 专利有效期 一种大口径光学元件表面损伤分布图的生成方法 至一种大口径光学元件表面损伤分布图的生成方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤分布图的生成方法,该方法包括如下步骤:对现有的多张大口径光学元件表面损伤子图像进行损伤轮廓提取,获取所有的损伤轮廓序列;计算得到的损伤轮廓的特征;基于损伤轮廓的特征对损伤轮廓进行分类标记;根据指定要求和分类标记信息,对损伤轮廓进行筛选、处理和显示,生成大口径光学元件表面损伤分布图。本发明可以很大程度上减少人工操作,实现元件表面质量全流程跟踪和闭环控制。

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