| 专利名称 | 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 | 申请号 | CN201310743324.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103741089A | 公开（授权）日 | 2014.04.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 武庆飞;黄晶;任坤;卢少阳;贺小燕;陈秀勇;刘奕;李华 | 主分类号 | C23C4/10(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 至一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品，所述的制备方法包括如下步骤：（1）配制WCl6液相前驱体；（2）将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理；（3）将步骤（1）制备的WCl6液相前驱体送入热喷涂设备中，经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面，得到所述的超薄多孔WO3气敏涂层。所述的制备方法具有操作简单、工艺流程少、成本低、适合工业化生产等优点，制备得到的WO3气敏涂层具有超薄多孔的亚微米结构，厚度为500nm～1μm，具有优异的气敏性。 |
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