一种扫描近场光学检测台

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专利名称 一种扫描近场光学检测台 申请号 CN201320724059.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203551595U 公开(授权)日 2014.04.16 申请(专利权)人 江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟 主分类号 G01Q60/18(2010.01)I IPC主分类号 G01Q60/18(2010.01)I 专利有效期 一种扫描近场光学检测台 至一种扫描近场光学检测台 法律状态 授权 说明书摘要

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