| 专利名称 | 光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构 | 申请号 | CN201310544975.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103728842A | 公开（授权）日 | 2014.04.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 薛佩佩;陈明;杨宝喜;任冰强;钱珍梅;王振;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构 至光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障