一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统

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专利名称 一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统 申请号 CN201320623430.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203535134U 公开(授权)日 2014.04.09 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 贾建军;杨明冬;张亮;钱锋;张明;白帅;王娟娟;梁延鹏 主分类号 G01R31/00(2006.01)I IPC主分类号 G01R31/00(2006.01)I 专利有效期 一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统 至一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统 法律状态 说明书摘要 本专利公开一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统,用于测试压电陶瓷快速偏转镜频率响应,考察其动态位移特性。系统由频响分析仪和压电陶瓷控制器组成。首先由频响分析仪输出扫频信号,经压电陶瓷控制器放大后驱动压电陶瓷快速偏转镜偏转,然后频响分析仪检测压电陶瓷快速偏转镜上所贴应变片的电压,最后由频响分析仪通过比较输出的驱动电压和检测到的应变片电压,自动绘出压电陶瓷快速偏转镜的动态频率响应波特图。本系统将输出给压电陶瓷快速偏转镜的电压和应变片电压进行比较,利用频响分析仪得到压电陶瓷快速偏转镜的频率响应特性,结构简单,操作方便。

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