| 专利名称 | 一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件 | 申请号 | CN201310705313.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103715607A | 公开（授权）日 | 2014.04.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 闫方亮;张锦川;姚丹阳;卓宁;王利军;刘峰奇;王占国 | 主分类号 | H01S5/42(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/42(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件 至一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件，包括：衬底；衬底上表面依次生长的下波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、盖层以及高掺层；阵列器件，其包含多个DFB激光器单元，每个DFB激光器单元具有脊型波导结构，脊上面的高掺层上具有二级取样布拉格光栅结构，不同布拉格光栅具有不同取样周期；二氧化硅层，覆盖整个脊型波导结构的表面区域；正面电极层，生长在二氧化硅层上面及布拉格光栅上面；电隔离沟，位于阵列器件中两个相邻的DFB激光器的脊型波导结构之间；背面金属电极层，生长在衬底的下表面；出光窗口，位于衬底的下表面，阵列器件中的每个DFB激光器单元的脊型波导均对应一个出光窗口。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障