| 专利名称 | 一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统 | 申请号 | CN201410024170.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103713379A | 公开（授权）日 | 2014.04.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;杨雄 | 主分类号 | G02B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统 至一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统。本发明中的投影光学系统由一系列透镜和两个反射镜组成。从物面到像面依次有五个镜组，其中，两个反射镜一起组成第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲、减小系统的口径以及减少系统的非球面个数。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小且结构紧凑，可有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。 |
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