| 专利名称 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 | 申请号 | CN201310693328.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103698835A | 公开（授权）日 | 2014.04.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 宋莹;巴音贺希格;李文昊;姜珊;潘明忠 | 主分类号 | G02B5/32(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/32(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I | 专利有效期 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 至采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法，涉及光谱技术领域，现有技术中采用线阵CCD实现全息光栅曝光方法中存在由于线阵CCD的响应速度较慢，导致对较高频率的条纹抖动抑制效果差的问题，配备一套全息光栅曝光装置；配备一套外差式干涉条纹锁定控制装置；干涉条纹实时锁定并放置光栅基底进行曝光。本发明提出的方法可以保证在全息光栅的曝光过程中，干涉条纹相对光栅基底的相位锁定于某一固定值，由于控制带宽较高，可以较好的抑制高频条纹抖动，保证全息光栅槽型的对比度，提高全息光栅制作工艺水平。 |
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