| 专利名称 | 自种子注入双腔结构准分子激光器系统 | 申请号 | CN201310712625.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103701025A | 公开（授权）日 | 2014.04.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 周翊;范元媛;单耀莹;吴月婷;沙鹏飞;宋兴亮;张立佳;崔惠绒;王宇 | 主分类号 | H01S3/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/08(2006.01)I;H01S3/10(2006.01)I | 专利有效期 | 自种子注入双腔结构准分子激光器系统 至自种子注入双腔结构准分子激光器系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模式。其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成窄带谐振腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和宽带反馈模块构成一个宽带谐振腔，用于对模式竞争胜出后的窄带谐振腔模式进行谐振放大输出。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且可以提高输出激光的能量及稳定性、缩小系统体积、降低系统功耗，同时本发明结构简单，便于加工，调谐方便。 |
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