| 专利名称 | 一种紫外波段的高像质投影光学系统 | 申请号 | CN201410004957.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103698885A | 公开（授权）日 | 2014.04.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 | 主分类号 | G02B27/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/18(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种紫外波段的高像质投影光学系统 至一种紫外波段的高像质投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度，本发明的紫外波段的高像质投影光学系统具有高像质，结构紧凑等优点，可将将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障