| 专利名称 | 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置 | 申请号 | CN201310675863.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103697818A | 公开（授权）日 | 2014.04.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 赵磊;杨怀江;隋永新;张德福 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置 至基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置属于精密微动调整与检测领域，目的在于解决现有技术存在的测量的重复定位精度差和长期稳定性差的问题。本发明包括调整架、压电驱动器和标定基准组件；所述压电驱动器固定在所述调整架上，所述压电驱动器驱动调整架的运动杆运动，所述标定基准组件固定在所述调整架上，所述标定基准组件与待标定微位移传感器同时测量所述运动杆的输出位移量。本发明提供了一种能够提供微位移的运动装置和一种作为检测基准的精度更高传感器光栅尺，通过光栅尺和待标定微位移传感器同时测量运动杆的输出位移，实现对待标定微位移传感器的标定。本标定装置具有结构简单，重复定位精度高和长期稳定性好等优点。 |
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