| 专利名称 | 一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201210369332.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103698358A | 公开（授权）日 | 2014.04.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 杜克勤;郭兴华;郭泉忠;王勇;王福会 | 主分类号 | G01N27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/00(2006.01)I;C04B38/00(2006.01)I;C04B35/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法 至一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法，属于指示环境湿度的元器件技术领域。利用暂态自反馈微弧氧化技术在高纯铝薄片上制备一层稳定的多孔α-Al2O3陶瓷膜为感湿介质层，从而使Al2O3湿度传感器改善或克服了长期漂移、结构不稳定的问题。本发明的湿度传感器测量范围宽，灵敏度高、重现性和稳定性好，可广泛应用于工业过程控制、环境湿度检测等环境。 |
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